掃描電鏡掃描時(shí)出現(xiàn)干擾條紋是什么原因?
日期:2025-08-01
掃描電鏡(SEM)成像時(shí)出現(xiàn)干擾條紋,通常是由于外部干擾、電氣系統(tǒng)異常或樣品問(wèn)題引起的。這些條紋可能呈現(xiàn)為周期性橫紋、斜紋、閃爍或拖影,嚴(yán)重時(shí)會(huì)嚴(yán)重影響圖像清晰度和分辨率。
下面是常見(jiàn)原因及對(duì)應(yīng)解釋:
一、外部電磁干擾
1. 電源干擾
由實(shí)驗(yàn)室供電不穩(wěn)定、接地不良、電壓波動(dòng)引起;
表現(xiàn)為周期性條紋或圖像閃動(dòng);
尤其在與 SEM 共用線路的設(shè)備(如壓縮機(jī)、熒光燈)啟動(dòng)時(shí)更明顯。
2. 強(qiáng)電設(shè)備干擾
SEM 附近存在大功率電機(jī)、空調(diào)、電焊機(jī)、離子泵等;
這些設(shè)備產(chǎn)生的電磁場(chǎng)可干擾掃描系統(tǒng);
可能出現(xiàn)周期性水平條紋或模糊斜線。
3. 無(wú)線信號(hào)/手機(jī)干擾
高靈敏度 SEM 對(duì)附近手機(jī)、Wi-Fi 或無(wú)線電波也可能敏感;
干擾條紋多為不規(guī)則閃動(dòng)或圖像跳動(dòng)。
二、掃描控制系統(tǒng)問(wèn)題
1. 掃描信號(hào)不穩(wěn)定
若主板或控制模塊的模擬信號(hào)通道不穩(wěn)定,可能導(dǎo)致圖像出現(xiàn)周期性擾動(dòng);
常見(jiàn)于老舊設(shè)備或長(zhǎng)期運(yùn)行后的電子控制老化。
2. 接地不良
設(shè)備接地線松動(dòng)或電勢(shì)不均,會(huì)引起電子束不穩(wěn)定;
圖像可能出現(xiàn)類似“波紋”或拉伸。
3. 電纜接觸不良
探測(cè)器線纜松動(dòng)、屏蔽破損或插頭接觸不良,會(huì)引發(fā)圖像干擾;
條紋可能隨時(shí)間變化而閃爍或變寬。
三、樣品因素
1. 樣品帶電
不導(dǎo)電樣品或未噴鍍導(dǎo)電層的樣品,易積累電荷,導(dǎo)致電子束偏轉(zhuǎn);
會(huì)出現(xiàn)不規(guī)則的亮暗條紋、波動(dòng)或“拖影”;
特別是在放大倍率較高時(shí)更明顯。
2. 樣品移動(dòng)或不穩(wěn)定
樣品未固定牢固,在掃描時(shí)輕微振動(dòng);
圖像條紋可能伴隨輕微“錯(cuò)位”或重復(fù)重影。
四、環(huán)境振動(dòng)干擾
SEM 對(duì)微小振動(dòng)非常敏感;
若地面不穩(wěn)、臺(tái)架無(wú)減振、鄰近有震動(dòng)源(如走動(dòng)、升降梯),可能導(dǎo)致條紋或圖像漂移。
作者:澤攸科技
