掃描電鏡（SEM）能看到的最小結(jié)構(gòu)，取決于它的分辨率，而分辨率又受電子槍類型、加速電壓、樣品制備和探測(cè)模式等因素影響。

一般來(lái)說(shuō)：

傳統(tǒng)鎢燈絲熱發(fā)射 SEM：分辨率大約在 3–10 納米 左右，通常能清楚看到幾十納米大小的顆粒或特征。

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）：分辨率可達(dá) 1 納米甚至更好，能清楚觀察納米顆粒、薄膜表面、納米線等精細(xì)結(jié)構(gòu)。

超高分辨 SEM（比如冷場(chǎng)發(fā)射 SEM）：在優(yōu)化條件下，分辨率可以達(dá)到 亞納米級(jí)（0.5 nm 左右），接近透射電鏡（TEM）的效果。

需要注意的是，即使分辨率很高，是否能真正看清細(xì)節(jié)還取決于：

樣品表面的導(dǎo)電性與平整度；

是否存在充電效應(yīng)或表面污染；

成像時(shí)的加速電壓與工作距離；

選擇的探測(cè)器（SE、BSE 等）。