掃描電鏡（SEM）圖像模糊是一個常見問題，通常和 儀器狀態(tài)、成像參數(shù)、樣品條件有關(guān)。常見原因主要有以下幾類：

1. 聚焦不良

電子束沒有準確聚焦到樣品表面。

工作距離（WD）設(shè)置不合適。

需要重新調(diào)節(jié) 對焦（Focus） 和 消像散器（Stigmator）。

2. 像散（Astigmatism）

電子束在不同方向上的聚焦程度不同，導致圖像在某些方向清晰、某些方向模糊。

可通過 消像散校正 來解決。

3. 樣品問題

表面不平整，深凹或厚樣品導致部分區(qū)域不在焦平面上。

非導電樣品未鍍膜，表面出現(xiàn) 充電效應(yīng)，使圖像漂移、模糊。

樣品污染（如碳污染、油污）影響電子信號。

4. 電子束參數(shù)不合適

束流過大：導致樣品表面損傷或充電加劇。

加速電壓過低：電子穿透深度不夠，信號不足。

掃描速度過快：采樣點少，圖像不清晰。

5. 環(huán)境和機械因素

實驗室震動（地面不穩(wěn)、泵運行引起的振動）。

電磁干擾（如大功率電器、附近電磁場）。

真空度不夠，導致電子束散射。

6. 操作不當

未等真空穩(wěn)定就成像。

樣品臺高度或角度設(shè)置不合理。