在掃描電鏡中，表面粗糙度通常通過觀察圖像的亮度變化、陰影效果和局部紋理來判斷。表面越粗糙，局部傾斜角越多，次級(jí)電子信號(hào)的發(fā)射方向就越分散，因此圖像中的亮暗反差會(huì)更明顯，看起來顆粒感強(qiáng)、灰度不均勻；而表面光滑的樣品，亮度分布會(huì)比較均勻，看上去細(xì)膩。

如果把樣品輕微傾斜，比如五到十度，再觀察圖像，可以通過陰影判斷起伏程度。表面粗糙的樣品會(huì)出現(xiàn)明顯的陰影和亮區(qū)，而平滑表面幾乎沒有陰影，輪廓柔和。

從信號(hào)類型來看，次級(jí)電子像能反映表面形貌。若表面起伏較大，背散射電子像中也可能出現(xiàn)亮暗不均，因?yàn)殡娮拥纳⑸浣鞘鼙砻鎯A斜影響。

要進(jìn)一步定量分析，可以拍攝不同傾斜角度的兩張圖像，用三維重建軟件（如 MountainsSEM 或 Gwyddion）重建出相對(duì)高度分布。若需要得到數(shù)值粗糙度參數(shù)，還可以結(jié)合原子力顯微鏡或白光干涉儀測(cè)量。

判斷時(shí)要注意操作條件：加速電壓太高會(huì)讓信號(hào)穿透表面，使形貌對(duì)比變?nèi)?；工作距離太長會(huì)讓分辨率下降；次級(jí)電子探測(cè)器對(duì)表面起伏敏感；若樣品導(dǎo)電性不好，會(huì)出現(xiàn)充電效應(yīng)，看起來像“假粗糙”。

總之，粗糙表面在掃描電鏡下的典型特征是亮暗反差明顯、顆粒感強(qiáng)、有陰影；光滑表面則亮度均勻、細(xì)節(jié)平滑。