掃描電鏡樣品在制備、搬運或觀察過程中容易受到油污、灰塵、有機物或金屬微粒等污染，這些污染不僅會影響成像清晰度，還可能導(dǎo)致電荷積聚、對比度下降或出現(xiàn)偽影。因此，在進行觀察前，樣品的清潔處理十分關(guān)鍵。

首先，應(yīng)根據(jù)樣品材質(zhì)選擇合適的清潔方式。對于金屬、陶瓷等硬質(zhì)樣品，可采用超聲波清洗。將樣品放入異丙醇、丙酮或去離子水等清洗液中，用超聲波振動清除表面附著的油脂與塵粒。清洗時間一般控制在幾分鐘以內(nèi)，以避免樣品結(jié)構(gòu)受損。清洗后應(yīng)使用潔凈的氮氣或空氣輕輕吹干，防止水漬殘留。

其次，對于生物樣品或柔軟材料，應(yīng)采用低侵蝕性的清潔方法。可以用干凈的濾紙、棉簽或氮氣流輕輕拂去灰塵，避免使用強溶劑或超聲，以免損傷樣品表面結(jié)構(gòu)。如果樣品允許，可使用低能等離子清洗（如氧等離子體）去除表面有機污染物，此法能有效改善導(dǎo)電性與成像對比。

此外，真空環(huán)境下的電子束污染也常見，尤其在樣品含有殘留有機物時。此時應(yīng)提前在真空烘箱中進行烘干處理，去除揮發(fā)性物質(zhì)，或在顯微鏡內(nèi)進行預(yù)輻照清除。對于重復(fù)使用的樣品臺、樣品夾等附件，也應(yīng)定期用溶劑或等離子清潔，以避免二次污染。

需注意清潔完成后樣品應(yīng)放置在潔凈、防塵、低濕環(huán)境中儲存，盡量減少與空氣和手接觸。不同類型的樣品對清潔方法的耐受性和適用性差異較大，不同品牌設(shè)備對樣品前處理的要求也不盡相同，因此在操作前應(yīng)根據(jù)樣品特性及儀器廠家建議選擇最合適的清潔方式，以確保成像質(zhì)量穩(wěn)定可靠。