在掃描電鏡的高倍放大下，任何微小震動都會放大成明顯抖動。

1. 穩(wěn)固樣品固定

高倍下最常見問題來自樣品未貼緊。確保樣品與樣品臺完全貼合，導電膠、夾具或金屬片壓片要固定牢，不得有翹角或松動。

2. 降低環(huán)境振動

關(guān)閉附近會產(chǎn)生震動的設(shè)備，如真空泵、循環(huán)水機、臺式儀器等；確保顯微鏡放置在穩(wěn)定的臺面上，避免走動、碰觸或開關(guān)柜門造成微震。

3. 選擇較短的像素駐留時間

高倍時駐留時間太長會放大抖動，可適當縮短 dwell time 或提高掃描速度，以減少運動累積誤差。

4. 調(diào)整工作距離（WD）與電子束條件

稍微增大 WD 或降低束流密度，可讓成像更穩(wěn)定，同時減少樣品的束流受熱翹動。

5. 校準掃描與對焦

高倍前先在低倍完成完全集中、天平與對焦補償，避免進入高倍后不斷調(diào)節(jié)導致進一步擾動。

6. 控制樣品臺動作

避免在高倍下使用連續(xù)移動或傾斜，所有位置調(diào)整都應在低倍完成；確認樣品臺的驅(qū)動模塊沒有松動或背隙問題。

7. 提高抽真空穩(wěn)定度

腔體未完全穩(wěn)定時，泵振與氣體流動會引入輕微抖動，應在真空達到穩(wěn)定值后再進入高倍模式。