納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺RF-5950A
納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺RF-5950A，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360無限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
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納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺RF-5950A，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360無限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺RF-5950A，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
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3、光刻機工件臺
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5、光纖焊接
