掃描電鏡（SEM）樣品尺寸能否放入主要取決于 樣品室大小、樣品臺(tái)載物面積 和探頭或樣品夾具的空間限制。一般來(lái)說(shuō)可以這樣考慮：

1. 樣品臺(tái)和樣品室限制

樣品室直徑和高度：大多數(shù)臺(tái)式 SEM 樣品室直徑約 50–100 mm，高度 30–70 mm；高端科研用 SEM 可能更大。

樣品臺(tái)載物直徑：通常為 25–50 mm（部分可擴(kuò)展至 100 mm）。

注意：樣品周邊要留有一定空間，以便電子束掃描時(shí)不碰到腔壁或探頭。

2. 樣品厚度

樣品厚度不能太高，否則可能碰到 透鏡或探測(cè)器，導(dǎo)致無(wú)法移動(dòng)或?qū)埂?/span>

對(duì)高分辨率 SEM，樣品厚度一般建議 ≤ 5–10 mm。

3. 樣品重量

樣品臺(tái)通常有載重限制（幾十克到幾百克不等），過(guò)重可能影響 定位精度 和 臺(tái)面運(yùn)動(dòng)。

4. 樣品形狀

盡量選擇 平整底面，方便固定。

高出或不規(guī)則樣品可能需要 特制夾具 或 削薄處理。