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掃描電鏡中觀察顆粒尺寸分布的方法

日期:2025-09-05

在掃描電子顯微鏡(SEM) 中觀察顆粒尺寸分布,通常需要結(jié)合 樣品制備、圖像采集和數(shù)據(jù)分析。下面我給你整理一個(gè)完整流程:

1. 樣品制備

顆粒尺寸測(cè)量的準(zhǔn)確性,很大程度上取決于樣品制備。

干燥分散

如果是粉末顆粒,先將樣品干燥,避免顆粒團(tuán)聚。

可在溶劑中分散后滴在載網(wǎng)或樣品臺(tái)上自然干燥。

導(dǎo)電處理

非導(dǎo)電顆粒需要鍍 金或碳,防止電子束充電導(dǎo)致圖像模糊。

減少堆疊

顆粒盡量分開鋪開,避免上下重疊,否則測(cè)得的尺寸不準(zhǔn)確。

2. SEM 圖像采集

放大倍數(shù)

選擇合適的放大倍數(shù),使顆粒完整顯示且分辨率足夠高。

放大倍數(shù)要保證每個(gè)顆粒在圖像上至少有幾十個(gè)像素,方便后續(xù)測(cè)量。

掃描模式

常用 SE(Secondary Electron)模式,可清晰顯示顆粒輪廓。

對(duì)于顆粒高度差異大,可適當(dāng)調(diào)整 工作距離 或 景深。

圖像質(zhì)量

調(diào)整 加速電壓、光斑大小,避免圖像過暗、過亮或條紋。

3. 圖像處理與尺寸測(cè)量

二值化 / 閾值處理

將顆粒輪廓提取出來,生成黑白二值圖。

顆粒識(shí)別

使用 ImageJ/Fiji、MATLAB 或 Igor Pro 圖像分析工具,識(shí)別每個(gè)顆粒。

可以進(jìn)行顆粒邊緣檢測(cè)或分割處理。

尺寸測(cè)量

顆粒直徑:測(cè)量等效圓直徑 D=πD = \sqrt{\frac{4A}{\pi}}D=,其中 AAA 是顆粒面積。

顆粒長寬比、周長等參數(shù)也可計(jì)算。

統(tǒng)計(jì)分析

將所有顆粒尺寸整理成 直方圖或累積分布曲線。

可計(jì)算平均粒徑、標(biāo)準(zhǔn)差、粒徑分布范圍。


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作者:澤攸科技