在掃描電鏡（SEM）觀察中，樣品表面的導電性對圖像分辨率和成像質量有很大影響，主要體現(xiàn)在以下幾個方面：

電荷累積效應

非導電樣品在電子束照射下，表面會積累電荷。

電荷會偏轉入射電子束或二次電子的軌跡，造成圖像漂移、條紋、模糊，分辨率明顯下降。

嚴重時甚至會出現(xiàn)圖像“閃爍”或無法聚焦。

電子信號收集效率

導電樣品能快速將入射電子電流泄放至接地，保持電荷平衡。

這樣二次電子、背散射電子信號更穩(wěn)定，成像清晰度高，分辨率得以發(fā)揮。

非導電樣品信號不均勻，會出現(xiàn)局部過亮或過暗區(qū)域。

束斑穩(wěn)定性與束流控制

樣品導電性差時，電荷會影響電子光學系統(tǒng)的穩(wěn)定性，束斑難以聚焦到最小，導致分辨率降低。

良好導電性有助于束斑穩(wěn)定，從而獲得高分辨率成像。

加速電壓的依賴性

在低加速電壓下，非導電樣品更容易積累電荷，影響分辨率更明顯。

高加速電壓時雖然電子能穿透更深，但表面電荷積累問題依舊存在。

解決措施

在非導電樣品表面進行金屬（Au、Pt、Pd）或碳鍍膜，增加導電性。

使用低真空/環(huán)境 SEM（ESEM），通過氣體中和電荷。

采用低束流或脈沖電子束，減小充電效應。

在樣品與載物臺之間加導電膠帶，改善接地。